相位仪(Phase Meter)是一种测量电路、声学装置或光学系统相位差的仪器。它可以测量一段信号或两个信号之间的相位差以及相位漂移。目前,相位仪已经广泛应用于高精度测量、控制、通信和测试等领域,如晶圆芯片生产、雷达调试和通信系统测试等。
相位仪基于相敏检测技术,通过将输入信号分为参考信号和待测信号两路,然后比较它们的相位差从而测量相位。相位仪的基本原理是利用锁相放大器测量两个信号的相对位相差,通过采用反馈控制实现相位的精确测量。
相位仪的性能关键在于其稳定度和灵敏度。稳定度主要取决于振荡器的稳定性和锁相放大器的抑制能力,而灵敏度则主要取决于相敏检测器的噪声水平和放大器的增益。